⑴ 新计划确定,EUV光刻机的情况令人“意外”
芯片的发展一直遵循摩尔定律,不断向微缩方向前进 ,如今进入到10nm制程以下,7nm、5nm已经实现量产,马上就要进行3nm的量产,2nm研发也提上日程。
但随着芯片制程的越来越小,技术难度也越来越大,因为不仅材料即将达到物理极限,就连所依赖的光刻机也需要更新迭代。于是,ASML有了新计划,开始着眼长远。
对于芯片制造来说,不可或缺的最关键设备就是光刻机。因为光刻机的先进性决定了芯片厂商能做的制程工艺,就比如7nm以下制程的芯片,就必须用EUV光刻机。
但目前EUV只有ASML一家能够生产,且从2012年出货开始,到去年为止总共才出货了140台,加上今年第一季度3台共146台,正式批量出货才从2017年开始。
这其中有一半多被台积电一家买走,据说占比为55%,也就是买走了79台EUV。
剩下的45%,约64台EUV,为三星、英特尔、SK海力士等共同分得。可见,其他厂商想多获得也不容易。为争取更多EUV,三星负责人两次前往ASML总部去争取。
值得一提的是,EUV还限制出货给中企。中芯国际2018年订购了一台EUV, 由于美方阻挠,至今未到货。不仅如此,美又修改规则,国外厂商的大陆厂也不能获得。
之前,韩企SK海力士的无锡厂就中招了。不过,这种情况可能将要发生改变了。
ASML早就对EUV出货限制表示出不满,曾表示主要是《瓦森纳协议》相关国家的限制,还直接警告限制只会加速大陆技术突破,到时他们只能面临失去市场的后果。
发怨言、警告都没什么用,于是ASML只能自己行动,争取自由出货。一方面,加快EUV更新迭代,研发新一代EUV。另一方面,继续扩大产能,提高EUV市占率。
其实,ASML自己很明白,只有EUV自由出货,抓住大陆市场才能实现更好发展。
在今年一季度财报会上,ASML披露了EUV出货计划,为了满足不断扩大的需求,今年计划出货55台EUV,并且产能还会逐步提升,到 2025年时争取出货达90台。
90台EUV什么概念,台积电6年间获得才79台,年产90台将超过实际的需求。
按计划,2025年时新一代High-NA EUV也开始量产出货。这样,原来的EUV就成了迭代产品,加上产能已超过需求,再不让出货就说不过去了,ASML就有机会了。
有人可能会说,ASML为什么要生产那么多,让EUV供过于求,这不是给自己找麻烦吗?要知道,ASML研发EUV技术超过十年,先后投入400多亿,为的是什么?
作为企业,自然要实现利润最大化,首先自然是收回成本,再者就是要用它来获得更多的收益。让EUV供过于求,正是为争取大陆这个最大的市场,为了更多利润。
因为EUV限制,我们早就开始布局研发国产EUV,所以ASML是在为自己抢时间。
一旦我们突破了EUV,能够做出国产EUV,还会有ASML的事吗?所以ASML才会积极推进EUV自由出货,争取在我们突破前占领市场,就像现在DUV光刻机一样。
再说,还有替代EUV的技术在研发,比如NIL技术,因此留给ASML的时间不多了。
对于ASML90台计划,外媒评价道,这相当于承认了,确实在争取EUV自由出货。
即使如此,EUV自由出货也是3年以后的事了,到时什么情况谁也说不准。因此,我们不必对此寄予希望,还是踏实进行EUV相关技术研发,争取早日实现国产EUV!
⑵ 国内四大光刻胶生产商是哪里
一、晶瑞电材:
公司全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权,北京科华微电子成立于2004年8月,是国内唯一拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司,是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业,也是国内唯一一家拥有高档光刻胶自主研发及生产实力的国家级高新技术企业。
公司成功研发出使用多聚甲醛生产功能树脂技术,替代了传统的液醛工艺,使得含酚、含醛工艺废水减少70%,解决了橡胶用酚醛树脂生产过程中产生难以处理的含酚、含醛污水的问题。
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